目前已经研究了臭氧在各种应用中的用途，例如水处理，家庭和工业废水处理，药物，牙科，兽医，农业，环境消毒和食品保存。随着臭氧的使用快速增长，通过臭氧发生器系统产生臭氧的改进至关重要。臭氧被认为是第二大氧化剂，可大规模用于水处理，并且在数以千计的处理系统中已被多个国家使用。臭氧可以通过三种方式产生:电解，紫外线(紫外线)和电晕放电效应。在商用臭氧发生器中，臭氧主要由紫外线辐射和电是效应产生。然而，紫外线辐射不能满足各种工业所需的大规模生产。这样，电晕放电是获得大量臭氧的最常用方法。在电晕放电过程中，臭氧是通过在称为臭氧反应器的不锈钢管中放电产生的。

臭氧动画

电晕放电法则是使用高速电轰击氧气使其分解成氧原子，然后氧原子通过三体碰撞反应形成臭氧。因此，如何为臭氧生产提供氧气源是臭氧处理废水工艺中的关键工艺之一。

臭氧用制氧机

目前市场上有三种方式供臭氧发生器使用：一、液态氧、二、瓶装氧、三、制氧机直接供氧。使用最多的则是外置PSA制氧机。

臭氧发生器制氧机

臭氧发生器用制氧机是使用制氧机直接供氧，不受当地条件的限制，随开随用，纯度可调，应用方便等优点。虽然一次性投资大，但整套系统占地面积小，制氧成本低。